Bán van chân không siêu cao loại nào tốt

Thụy Sĩ VAT UHV loạt siêu cao chân không Van

I. Đặc điểm cốt lõi của dòng UHV

1. Định vị sản phẩm

• loạiVan chân không siêu cao (Ultra High Vacuum Valve)

• Phạm vi chân không áp dụng：

• Phiên bản chuẩn：10⁻⁹ ~ 10⁻ ² mbar

• Phiên bản tùy chỉnh: Lên đến 10 ⁻185 ³mbar (thiết kế nướng đặc biệt)

• Lợi thế cốt lõi：

• Không rò rỉ: Tỷ lệ rò rỉ niêm phong kim loại<1 × 10⁻ܼmbar=">(He rò rỉ).

• Chịu nhiệt độ cao nướng: Thân máy có thể chịu được250 ° C ~ 300 ° CNướng (Standard Edition)450 ° C(Phiên bản tùy chỉnh).

• Không có vật liệu hữu cơ: Tất cả các cấu trúc kim loại để tránh ô nhiễm khí thải.

2. Thiết kế

• Hệ thống niêm phong đôi: Con dấu chính (lưỡi dao kim loại)+Con dấu phụ (bù đàn hồi).

• Mô-men xoắn thấp: Khớp nối từ hoặc truyền Bellows để tránh rò rỉ con dấu trục.

• Độ tinh khiết của vật liệu: Thép không gỉ 316L (đánh bóng điện phân lớp EP), độ nhám bề mặt<0,8μm. <>

II. Phân loại mô hình và thông số kỹ thuật

1. Quy tắc đặt tên mô hình (lấy VAT UHV 24 làm ví dụ)

2. Bảng tương phản mô hình phụ

3. Thông số kỹ thuật chi tiết

III. Kịch bản ứng dụng điển hình

1. Sản xuất chất bán dẫn

• Ứng dụng：

• Cách ly khoang (chống ô nhiễm hạt) của máy khắc/máy tiêm ion.

• Duy trì chân không cực cao của hệ thống kéo dài chùm phân tử (MBE).

• Đề xuất mô hình：

• VAT UHV 24-A (DN40, cách ly nhanh bằng khí nén).

2. Thiết bị nghiên cứu khoa học

• Ứng dụng：

• Điều khiển chùm tia của nguồn sáng bức xạ synchrotron.

• Phân đoạn chân không của các thiết bị nhiệt hạch hạt nhân như tokamak.

• Đề xuất mô hình：

• VAT UHV 54-M (DN100, niêm phong đáng tin cậy bằng tay).

3. Không gian và lớp phủ

• Ứng dụng：

• Thử nghiệm niêm phong chân không cho bể chứa thuốc phóng vệ tinh.

• Điều chỉnh áp suất khoang của máy mạ quang học.

• Đề xuất mô hình：

• VAT UHV 10-E (DN16, điều khiển chính xác bằng điện).

IV. Lựa chọn và cài đặt các điểm chính

1. Lựa chọn các yếu tố chính

• Thông qua yêu cầu: Dựa trên tính toán lưu lượng (ví dụ: cặp DN40 nên khoảng 20 L/s @ 10 ⁻mbar).

• Phương pháp lái xe：

• Khí nén: Công tắc nhanh (thích hợp để cách ly an toàn).

• Điện: Có thể tích hợp điều khiển tự động hóa (như PLC).

• Mặt bích tiêu chuẩn：

• CF mặt bích: Chân không siêu cao (niêm phong kim loại).

• Mặt bích ICFYêu cầu về tỷ lệ rò rỉ tối thiểu (ví dụ: 10⁻185 ³mbar).

2. Đặc điểm kỹ thuật cài đặt

• Yêu cầu làm sạch：

• Làm sạch mặt bích bằng acetone/rượu (đeo găng tay không bụi) trước khi lắp đặt.

• Điều khiển mô-men xoắn：

• Bu lông mặt bích CF cần được siết chặt theo từng bước theo đường chéo (DN40 khuyến nghị 8~10 Nm).

• Lời khuyên nướng：

• Nhiệt độ lên đến 250 ° C ở tốc độ 10 ° C/phút và giữ nhiệt trong 48 giờ.

V. Bảo trì và xử lý sự cố